Spektrum jisim plasma gandungan induktif (ICP-MS) adalah jenis baru teknologi analisis unsur-unsur anorganik dan isotop yang boleh mengesan hampir semua unsur dalam jadual kitaran secara cepat dan bersamaan. Teknologi ICP-MS dalam keupayaan analisis, melebihi teknologi analisis anorganik tradisional seperti teknologi spektrum plasma gandungan induksi (ICPAES), penyerapan atom tungku grafit (GFAAS) dan teknologi penyerapan atom sejuk merkuri (CVAAS), dikenali sebagai pembangunan yang paling menarik dalam teknologi analisis kontemporari.

Bidang aplikasi teknologi Agilent ICP-MS termasuk:
Analisis sampel alam sekitar, termasuk analisis air paip, air permukaan, air bawah tanah, air laut dan pelbagai tanah, sisa dan lain-lain;
Analisis Bahan Semikonduktor
Analisis sampel seperti kaca, seramik dan perlombongan;
• Penyelidikan geologi;
• Penyelidikan klinikal makanan dan perubatan;
Analisis bahan nuklear
Analisis sampel petrokimia;
• Penyelidikan dan aplikasi forensik;
Baru-baru ini, analisis nilai unsur dan morfologi dalam bidang toksisiti alam sekitar dan sains hayat bersama teknologi pemisahan menjadi tumpuan aplikasi teknologi ICP-MS.
Ciri-ciri analisis ICP-MS:
● Untuk mengesan hampir semua elemen dalam jadual kitaran dengan cepat
Had pengesanan minimum (sehingga tahap ppq)
Analisis Perbandingan Keuntungan / Kos Terbaik
Julat dinamik linear yang paling luas - mengesan secara langsung kepekatan dari ppq hingga beratus-ratus ppm
● Garis spektrum yang paling mudah, gangguan minimum, ketepatan dan ketepatan yang baik
● Memerlukan jumlah sampel yang sangat rendah (ul hingga ml), kelajuan analisis yang cepat (1 ~ 3 minit / sampel)
Mod pengesanan fleksibel dan pelbagai
Analisis pencemaran super jejak dalam bahan yang biasa digunakan dalam industri semikonduktor:
Pepejal: Si; GaAa potongan kristal tunggal; Kuarsa, silikon karbida dan bahan-bahan tungku; Elektrod logam tulen tinggi dan lain-lain
cecair: air yang sangat tulen; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Amonia dan lain-lain
Gas: SiH4 TE0S; NF3; N2 dan lain-lain
Agilent ICP-MS menganalisis sampel organik secara langsung:
Teknologi plasma rektal sejuk perisai berkuasa tinggi dan berkesan tinggi Agilent ICP-MS telah digunakan untuk mengukur unsur pencemaran jejak ppt dalam pelbagai sampel organik.
● Untuk beberapa sampel ini, kaedah lain tidak dapat mendapatkan keputusan yang memuaskan, teknologi plasma rektal sejuk perlindungan kuasa tinggi adalah satu-satunya kaedah analisis.
● Pembersih alkali yang kuat - ammonia tetrametilhidroksida (TMAH) dan lain-lain
Pelarut organik yang biasa digunakan - torfenil, ditafenil, IPA dan lain-lain
● Sampel matrik tinggi - lem photogravure, kristal cecair, BPSG, PSG dan lain-lain yang sangat mudah menguap pembersih - aseton, metanol dan lain-lain.