Kromatogram ion helium analisis tetrafluorikarbon
Helium ion kromatogram digunakan untuk pengesanan jejak kekotoran dalam gas industri elektronik, kepekatan pengesanan kecil boleh mencapai 5ppb. Instr
Perincian produk
- Penerangan Produk
Kromatogram ion helium analisis tetrafluorikarbonDilengkapi dengan pengesan ionisasi helium sensitif tinggi, menggunakan teknologi pemotongan pusat Huawei, injap sampel dilengkapi dengan laluan gas perlindungan; Seluruh mesin direka dengan kotak pelbagai tiang dan dilengkapi dengan sistem pembetulan automatik tekanan sampel untuk memastikan jumlah sampel gas dasar yang berbeza. Produk telah memenangi penghargaan projek A peringkat penukaran pencapaian teknologi tinggi di Shanghai.
Projek | Petunjuk | ||
Tetrafluorida karbon (CF)4Kesucian (bahagian jumlah) / 10-2≥ | 99.999 | 99.995 | 99.99 |
Nitrogen (N)2Kandungan (bahagian jumlah) / 10-6< | 4 | 20 | 40 |
Oksijen + Argon (O)2+ Ar) Kandungan (bahagian jumlah) / 10-6< | 1 | 5 | 10 |
karbon dioksida (CO)2Kandungan (bahagian jumlah) / 10-6< | 1 | 5 | 10 |
Kandungan karbon monoksida (CO) / 10-6< | 0.1 | 0.5 | 1 |
Sulfur heksafluorida (SF)6Kandungan (bahagian jumlah) / 10-6< | 1 | 1 | 5 |
Kelembaban (H)2O) Kandungan (Partisi Isi) / Kandungan, 10-6< | 3 | 5 | 10 |
Asid (HF) Kandungan Kandungan (Partisi Isi) / 10-6< | 0.1 | 0.3 | 0.3 |
halokarbon lainaKandungan (bahagian jumlah) / 10-6< | 1 | 10 | 30 |
Kandungan kotoran keseluruhan (skor jumlah) / l0-6 ≤ | 10 | 50 | 10 |
zarah | Perjanjian kedua-dua pihak | Perjanjian kedua-dua pihak | Perjanjian kedua-dua pihak |
Satuan halokarbon lain termasuk: hexafluoroetana, octafloropropana dan lain-lain.
|
Penyelidikan dalam talian