Katalis suhu rendah - sistem pemurnian nitrogen suhu tinggi

Sistem pemurnian ini menggunakan pengkatalis paten buatan sendiri, pengkatalis ini mempunyai hayat yang panjang, kedalaman pemurnian yang tinggi dan keupayaan fluktuasi segera gas anti-bahan mentah yang kuat; Menggunakan proses penyerapan fizikal dan tindak balas kimia, terlebih dahulu mengeluarkan banyak kekotoran H2O, O2, CO, CO2 dari gas inert dan hidrogen (H2) pada suhu bilik, kemudian mengeluarkan kekotoran baki dan N2 melalui menara penyerapan suhu tinggi, supaya kekotoran gas tulen eksport dibahagikan di bawah 1ppb. Peranti ini mempunyai ciri-ciri seperti hayat perkhidmatan yang panjang, operasi yang mudah.

Prestasi Produk

Sesuai untuk digunakan dengan gas mentah yang tidak kurang daripada 99.999% kemurnian.

◎ Produk ini adalah struktur dual, satu set kerja, satu set lain semula jadi

◎ kedalaman pemurnian yang tinggi, eksport pelbagai kandungan kotoran <1ppb

◎ Elektrokimia penggilap 316 (L) keluli tahan karat

◎ Terbina dalam penapis berkesan 0.003 mikron

◎ Pembersih ini dilengkapi dengan menara pra-pemurnian, mengeluarkan sejumlah besar kotoran sebelum menara penyerap yang berharga, sehingga boleh memanjangkan hayat perkhidmatan penyerap yang berharga

Aplikasi Produk

◎ Penyucian terminal gas industri elektronik seperti silikon kristal tunggal yang tinggi, pengembangan cip, litar bersepadu berskala besar, pengeluaran produk fotoelektrik

Peralatan proses semikonduktor: CVD, MOCVD, HVPE, tungku penyebaran dan lain-lain

◎ Penyucian gas

Parameter Sistem