Mikroskop Kuasa Atom Sepenuhnya Automatik AFM5500M
AFM5500M adalah peningkatan operasi dan ketepatan pengukuran yang ketara, dilengkapi dengan mikroskop kuasa atom sepenuhnya automatik dengan motor automatik 4 inci. Peranti ini menyediakan platform operasi sepenuhnya automatik pada penggantian lengan, pasangan laser, tetapan parameter ujian dan lain-lain. Pengimbas ketepatan tinggi yang baru dibangunkan dan sensor 3 paksi bunyi rendah meningkatkan ketepatan pengukuran secara ketara. Selain itu, meja sampel koordinat yang dikongsi melalui SEM-AFM memudahkan pemerhatian dan analisis saling pada bidang pandangan yang sama.
![]()
- Penerangan ikon
Syarikat pengeluaran: Hitachi High-tech Science
-
Ciri-ciri
-
Parameter
-
Movie
-
Data Aplikasi
Ciri-ciri
1. Fungsi automasi
- Fungsi automasi yang sangat bersepadu untuk mengejar kecekapan tinggi
- Mengurangkan kesilapan operasi manusia dalam pengesanan

4 inci motor automatik

Fungsi gantian lengan automatik
2. Kebolehpercayaan
Pengecualian kesilapan yang disebabkan oleh sebab mekanikal
- Imbasan aras pelbagai
- Mikroskop kuasa atom yang menggunakan pengimbas paip, biasanya mendapatkan data bidang melalui pembetulan perisian untuk permukaan yang dihasilkan oleh pergerakan busur pengimbas. Walau bagaimanapun, pembetulan perisian tidak dapat sepenuhnya menghapuskan kesan pergerakan busur pengimbas, kesan penyimpangan sering berlaku pada imej.
AFM5500M dilengkapi dengan pengimbas mendatar terbaru yang membolehkan ujian yang tepat yang tidak terjejas oleh pergerakan busur.

Sample :Amorphous silicon thin film on a silicon substrate
- Pengukuran sudut yang tepat
- Pengimbas yang digunakan oleh mikroskop kuasa atom biasa berlaku dengan lenturan (crosstalk) apabila disekat menegak. Ini adalah punca langsung kesilapan bentuk imej dalam arah mendatar.
Pengimbas baru yang dilengkapi dalam AFM5500M tidak melingkuk (crosstalk) di arah menegak dan boleh mendapatkan imej yang betul di arah mendatar tanpa kesan penyimpangan.

Sample : Textured-structure solar battery(having symmetrical structure due to its crystal orientation.)
- * Apabila menggunakan AFM5100N (kawalan cincin terbuka)
3. Integrasi
Integrasi rapat dengan kaedah analisis pengesanan lain
Melalui meja sampel koordinat yang dikongsi SEM-AFM, anda boleh mencapai pemerhatian dan analisis sampel permukaan, struktur, komponen, ciri-ciri fizikal dan lain-lain dengan cepat dalam bidang pandangan yang sama.

Contoh pemerhatian SEM-AFM dalam perspektif yang sama (Contoh: Graphene / SiO)2)

The ovrlay images createed by using AZblend Ver.2.1, ASTRON Inc.
Gambar di atas adalah data aplikasi dari imej bentuk (AFM) dan potensi (KFM) yang diambil oleh AFM5500M dan permulaan imej SEM masing-masing.
- Dengan menganalisis imej AFM boleh dinilai bahawa kontras SEM mencirikan ketebalan lapisan graphene.
- Bilangan lapisan graphene yang berbeza menyebabkan perbezaan potensi permukaan (fungsi kerja).
- Kontras imej SEM berbeza dan sebabnya boleh ditemui melalui pengukuran morfologi 3D ketepatan tinggi dan analisis sifat fizikal SPM.
Penggunaan dengan mikroskop lain dan alat analisis dirancang pada masa akan datang.
Parameter
| Stesen Motor | Motor ketepatan automatik Jangka pandangan maksimum: 100 mm (4 inci) di seluruh dunia Julat pergerakan meja motor: XY ± 50 mm, Z ≥ 21 mm Jarak langkah minimum: XY 2 µm, Z 0.04 µm |
|---|---|
| Saiz sampel maksimum | Diameter: 100 mm (4 inci), ketebalan: 20 mm Berat sampel: 2 kg |
| Julat imbasan | 200 µm x 200 µm x 15 µm (XY: kawalan loop tertutup / Z: pemantauan sensor) |
| Tahap bunyi RMS* | Di bawah 0.04 nm (mod resolusi tinggi) |
| Ketepatan semula* | XY: ≤15 nm (3σ, jarak standard untuk mengukur 10 μm) / Z: ≤1 nm (3σ, kedalaman standard untuk mengukur 100 nm) |
| XY sudut lurus | ±0.5° |
| BOW* | kurang daripada 2 nm/50 µm |
| Kaedah pengesanan | Pengesanan laser (sistem optik gangguan rendah) |
| Mikroskop optik | Pembesaran: x1 ~ x7 Julat pandangan: 910 µm x 650 µm ~ 130 µm x 90 µm Besaran paparan: x465 ~ x3,255 (paparan 27 inci) |
| Stesen pemadam gempa | Mesin pemadam guncangan aktif desktop 500 mm (W) x 600 mm (D) x 84 mm (H), kira-kira 28 kg |
| Penutup bunyi | 750 mm(W) x 877 mm (D) x 1400 mm(H)、 Kira-kira 237 kg |
| Saiz & Berat | 400 mm(W) x 526 mm(D) x 550 mm(H)、 kira-kira 90 kg |
- * Parameter berkaitan dengan persekitaran konfigurasi dan penempatan peranti.
| OS | Windows7 |
|---|---|
| RealTune ® II | Automatik menyesuaikan amplitude lengan, sentuhan, kadar imbasan dan maklum balas isyarat |
| Skrin Operasi | Navigasi operasi, paparan pelbagai tetingkap (ujian/analisis), lapisan imej 3D, paparan julat imbasan/pengukuran CV, analisis pemprosesan kumpulan data, penilaian probe |
| X, Y, Z imbas pemacu voltan | 0~150 V |
| Ujian masa (titik piksel) | 4 imej (maksimum 2,048 x 2,048) 2 imej (maksimum 4,096 x 4,096) |
| Imbasan segi empat | 2:1, 4:1, 8:1, 16:1, 32:1, 64:1, 128:1, 256:1, 512:1, 1024:1 |
| Perisian Analisis | Fungsi paparan 3D, analisis kekerasan, analisis seksyen, analisis seksyen purata |
| Fungsi kawalan automatik | Penggantian lengan automatik, pasangan laser automatik |
| Saiz & Berat | 340 mm(W) x 503 mm(D) x 550 mm(H)、 Kira-kira 34 kg |
| bekalan kuasa | AC100 ~ 240 V ± 10% AC |
| Mod ujian | Standard: AFM, DFM, PM (fase), FFM Pilihan: SIS bentuk, Sifat fizikal SIS, LM-FFM、VE-AFM、Adhesion、Current、Pico-Current、SSRM、PRM、KFM、EFM(AC)、EFM(DC)、MFM |
- * Windows adalah tanda dagangan yang didaftarkan oleh Microsoft Corporation di Amerika Syarikat dan di luar Amerika Syarikat.
- * RealTune adalah tanda dagangan berdaftar Hitachi High Tech di Jepun, Amerika Syarikat dan Eropah.
| Model Hitachi SEM yang boleh digunakan | SU8240, SU8230 (Jenis H36 mm), SU8220 (Jenis H29 mm) |
|---|---|
| Saiz meja sampel | 41 mm(W) x 28 mm(D) x 16 mm (H) |
| Saiz sampel maksimum | Φ20 mm x 7 mm |
| Ketepatan tengah | ±10 µm (ketepatan AFM pada tengah) |
Movie
Data Aplikasi
- SEM-SPM berkongsi koordinat cara yang sama pandangan untuk memerhatikan graphene / SiO2(Format PDF, 750kBytes)
Data Aplikasi
Memperkenalkan data aplikasi mikroskop probe imbasan.
Penerangan
Menjelaskan prinsip-prinsip dan pelbagai prinsip keadaan seperti Mikroskop Terowongan Imbasan (STM) dan Mikroskop Kuasa Atom (AFM).
Sejarah dan Pembangunan SPM
Menerangkan sejarah dan perkembangan mikroskop probe imbasan kami dan peranti kami. (Global site)
