Gambaran keseluruhan

Kilang pembuatan semikonduktor, pusat nanoteknologi, kilang nano dan pusat pembuatan dan penyelidikan ketepatan lain biasanya menggabungkan bilik bersih dengan sistem tanah palsu aktif untuk memenuhi keperluan kemudahan yang kompleks (paip, kabel, paip gas, dll.) dan mengekalkan piawaian kebersihan yang ketat. Tanah ini tidak sesuai untuk peralatan pengeluaran, pengujian dan pengukuran yang sensitif kepada getaran. Tanah aktif tidak dapat menyediakan persekitaran getaran yang tenang yang diperlukan untuk alat-alat ini. TMC Quiet Island menawarkan penyelesaian inovatif dengan menggantikan sebahagian daripada kawasan tanah aktif dengan "pulau tenang" yang tetap di bawah tanah. Quiet Island terdiri daripada bahagian atas platform yang serasi dengan bilik bersih dan struktur sokongan khusus aplikasi dan tapak.

Penghilangan

Komponen sokongan utama dan teknologi teras Quiet Island** disepadukan dalam sistem pengurangan aktif STACIS III. Sistem sokongan pengurangan getaran inersi jenis "kaku" ini sesuai untuk mana-mana alat sensitif getaran yang membolehkan alat tersebut beroperasi dengan standard yang tinggi dalam persekitaran yang bising. STACIS III serasi dengan alat pemprosesan wafer automatik, alat imej balok elektron resolusi tinggi, alat penggilingan balok ion dan mana-mana alat dengan sistem penebat dalaman pasif atau aktif (lihat Buku Putih kami mengenai penumpukan penebat aktif pada penebat aktif). Selain itu, ia juga menyediakan prestasi isolasi getaran dalam julat frekuensi yang luas. Dan reka bentuk "pemasangan keras" sangat keras, jadi untuk alat yang lebih tinggi dan ringan, tiada masalah kestabilan.

Pendiri dan Pendukung

Tiub berdiri yang sangat kuat dan tahan lama untuk menyokong insulator STACIS direka oleh pasukan kejuruteraan yang berpengalaman TMC dan dihasilkan oleh kilang ISO 9001 kami mengikut piawaian yang tinggi dan spesifikasi pensijilan kimpalan. Setiap Pulau Tenang direka dengan teliti untuk pelbagai ketinggian tanah aktiviti, geometri tanah dasar dan saiz alat. Dengan beribu-ribu peranti yang dipasang di seluruh dunia untuk menyokong lebih daripada 200 model instrumen yang berbeza, TMC mempunyai pengetahuan dan pengalaman yang luas untuk merancang struktur sokongan yang memenuhi keperluan STACIS dan kemudahan anda.

Platform yang tegar

Platform ini terdiri daripada lapisan keluli tebal 4 inci (100 mm) yang direka dan dikeluarkan oleh TMC, di mana lapisan keluli dikelilingi oleh bahan teras yang ringan, tidak boleh dimampatkan dan dipadamkan. Kesan pelapisan keluli kaku dan teras yang melekat dengan resin epoksida ke dalam cakera keluli tahan karat yang lancar menyediakan kekakuan dan damping struktur yang sangat tinggi. Bagian silang yang besar dan kandungan keluli menghasilkan kekakuan keseluruhan yang sangat tinggi. Atas dan sisi adalah satu-satunya kerangka keluli tahan karat yang berterusan untuk mengekalkan kebersihan, keindahan dan integriti. TMC boleh merancang dan menghasilkan platform khusus aplikasi mengikut keperluan, termasuk potongan, bentuk khas, lubang tetap dan bolt cincin gantung.

Quiet Islands vs. Quiet Buildings

Designing a facility to meet the stringent Vibration Criteria of extremely precise imaging equipment can be very challenging, and often cost-prohibitive, particularly when not all tools in the facility require these very low vibration levels.[1]

Statistical representation (in terms of Mean plus Sigma Spectra) of vertical vibrations in a typical semiconductor fab production area at 'as built' and two times thereafter [2]

It is very difficult to isolate very large areas such as entire buildings, or an entire floor. It is also well documented that building vibration levels will increase relative to a design specification as the facility is populated with equipment and people. Repeated vibration measurements a few months, or a year later, show that floor vibration levels typically rise over time.[2]

The more cost effective and successful approach for achieving the stringent requirements of vibration sensitive tools, is to employ point-of use active vibration control with serial piezoelectric technology, particularly to mitigate challenging low frequency (less than 5 Hz) vibration (example here).

TMC can work with the your team to design a tool-specific Quiet Island solution. This process allows us to look at each tool specifically and provide the best performing solution. A building design incorporating one large concrete sub-floor “slab” with a “raised floor” allows for flexibility of tool selection post-construction. Replacing the raised floor with a Quiet Island only where needed provides the most sensitive tool set with a vibration environment an order of magnitude, at least, lower than the sub-floor.

See also The Benefits of Including Floor Vibration Control for Nano-Tech Facilities over Designing 'Quiet' Buildings article on AZO Nano.

1Evolving criteria for research facilities: I – Vibration, Colin Gordon Associates, SPIE Conference 5933: Buildings for Nanoscale Research and Beyond, 2005, Source

2Maturation of the Vibration Environment in Advanced Technology Facilities, Colin Gordon Associates, Journal of the IEST, V. 48, No. 1, 2005, Source

Kelebihan Pulau Tenang

Menggunakan teknologi pengurangan getaran aktif piezoelektrik STACIS - TMC Industri **, reka bentuk "pemasangan keras" dan isolasi getaran bermula pada 0.6 Hz, serasi dengan alat isolasi terbina dalam.

Fleksibiliti untuk modulasi, penyesuaian dan penempatan semula - Setiap platform disesuaikan dengan aplikasi pelanggan, tetapi tidak seperti platform konkrit yang boleh dikonfigurasi semula dengan mudah jika alat atau ciri-ciri tanah berubah.

Kepakaran - TMC mempunyai pengalaman yang luas dalam kerjasama dengan pengeluar semikonduktor **, institusi penyelidikan saintifik dan OEM yang sangat tepat. Kami memahami pelanggan dan keperluan mereka. Kami merancang dan menghasilkan sendiri.

prestasi

Di Pulau Tenang yang tinggi 24 inci, 40 inci x 60 inci, di atas 4 pegangan STACIS,
Mengukur kadar penghantaran di bawah input VC-C dari tanah

Spesifikasi

Spesifikasi prestasi

Reka bentuk, saiz, persekitaran dan keperluan kegunaan insulator

Spesifikasi Pengawal DC-2020

Parameter lain

lainKonfigurasi Pulau Tenang

Instrumen besar yang tidak mempunyai spesifikasi getaran persekitaran biasanya memerlukan sokongan yang kaku dan stabil yang dipisahkan dari tanah yang aktif. Tight Quiet Island adalah penyelesaian yang sesuai. Tight Quiet Island mempunyai bahagian atas platform berprestasi tinggi yang sama dan juga boleh direka khusus untuk bilik bersih tanah aktif di mana-mana ketinggian, mana-mana geometri dasar dan pelbagai saiz alat. TMC menawarkan pelbagai jenis tiang untuk memenuhi pelbagai keperluan yang membentuk penyelesaian yang modular, fleksibel untuk menempatkan semula dan menaik taraf khusus instrumen dan kilang.

Gunakan Gambar

Kerana dipasang di Pulau Tenang kami ® Kekerumitan, sensitiviti dan nilai peranti pada platform dasar, kami tidak mencipta katalog standard untuk pesananNo.

Kami percaya bahawa setiap platform perlu direka khusus untuk aplikasi tertentu. Langkah-langkah pesanan yang disyorkan adalah sebagai berikut:

▪ Beritahu kami peranti atau alat yang anda ingin mengasingkan. Oleh kerana kami telah memasang beribu-ribu peranti, kami mungkin telah mempunyai reka bentuk platform yang memenuhi keperluan aplikasi anda. Di samping itu, kami mempunyai hubungan yang rapat dengan pengeluar alat-alat pedal, aligner, SEM dan lain-lain, jadi kami mengetahui ** saiz baru, bentuk, perubahan berat badan dan spesifikasi getaran tanah.

▪ Atau, anda mungkin ingin platform yang sesuai untuk sistem grid tanah aktif. Pelanggan biasanya memilih platform 47 x 47 inci (1,190 x 1,190 mm) untuk menggantikan jubin lantai ganda.

▪ Beritahu kami ketinggian tanah aktiviti anda lebih tinggi daripada tanah dasar yang kukuh.

▪ Sila jelaskan kepada kami atau berikan ilustrasi yang menunjukkan mana-mana corak lubang dalam geometri tanah bawah atau balok keluli / grid anda.

▪ Sila berikan kami data getaran tanah atau bincangkan dengan kami bagaimana mengukur data ini.

▪ Pertimbangkan kepekaan getaran alat. Reka bentuk tiang kaku dan bukan resonansi kami menyediakan sokongan yang mencukupi untuk banyak alat. Aplikasi yang lebih sensitif memerlukan sokongan udara atau piezoelektrik