Kromatogram ion helium untuk analisis tetraklorosilkan
Instrumen dilengkapi dengan pengesan ionisasi helium sensitif yang tinggi, menggunakan teknologi pemotongan pusat Huawei, injap sampel dilengkapi deng
Perincian produk
- Penerangan Produk
Kromatogram ion helium analisis tetraklorosilkanGunakan untuk pengesanan jejak kotoran dalam gas industri elektronik, kepekatan pengesanan kecil boleh mencapai 5ppb. Instrumen dilengkapi dengan pengesan ionisasi helium sensitif yang tinggi, menggunakan teknologi pemotongan pusat Huawei, injap sampel dilengkapi dengan laluan gas perlindungan; Seluruh mesin direka dengan kotak pelbagai tiang dan dilengkapi dengan sistem pembetulan automatik tekanan sampel untuk memastikan jumlah sampel gas dasar yang berbeza. Produk telah memenangi penghargaan projek A peringkat penukaran pencapaian teknologi tinggi di Shanghai.
Silikon (SiHCl)3Kandungan (bahagian jumlah) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Diklorosilana (SiH)2Cl2Kandungan (bahagian jumlah) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Metil diklorosilkan (SiCl)2CH4Kandungan (bahagian jumlah) / l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
Bahagian logam dan unsur-unsur lain | Kandungan (Boron + Aluminium) (B + Al) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.1 |
Kandungan (fosfor + arsenik) (P + As) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.3 | |
Kandungan gallium (Ga) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Kandungan Antimonium (Sb) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Kandungan Indium (In) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Kandungan kalsium (Ca) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan kromium (Cr) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan besi (Fe) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan kalium (K) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan natrium (Na) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan nikel (Ni) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan molybdenum (Mo) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan mangan (Mn) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan tembaga (Cu) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kadmium (Cd) Kandungan / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan Kobalt (Co) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan zink (Zn) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Kandungan Vanadium (V) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 |
Penyelidikan dalam talian