Keperluan pengukuran
Imbas garis untuk mengukur perbezaan antara lapisan dan lapisan dengan substrat sebagai permukaan aras aras, iaitu ketebalan lapisan

Gambaran keseluruhan ciri-ciri utama
1. pengukuran tanpa sentuhan, reka bentuk bersepadu
2. pelbagai penggunaan, mudah dipasang
Jaminan ketepatan pengulangan ± 0.5 hingga ± 1μm
4. imbasan baris satu, kelajuan boleh mencapai 50mm / s, sangat meningkatkan kelajuan pengesanan
5. pengesanan luar talian, penyimpanan data ketebalan, membentuk data asas statistik pengurusan / analisis
6. fungsi penggera yang kaya, OK, petua NG, pemantauan pengukuran keseluruhan proses, kawalan kualiti, meningkatkan kecekapan

Hasil pengukuran
Ketebalan salutan kira-kira 18μm ± 1μm

Menyelesaikan masalah peranti pengukuran pada peringkat ini

Terdapat keperluan tertentu untuk bahan pengukuran
2. Pengukuran sentuhan, bahan pengukuran rosak
3. julat pengukuran kecil, lokasi tidak pasti, sukar untuk mengukur
4. kelajuan pengukuran perlahan, ketepatan rendah, kesilapan pengukuran yang besar

Struktur yang kompleks dan kos yang tinggi