Silana adalah produk bahan baru yang penting, digunakan secara meluas dalam paparan panel rata LCD, semikonduktor, tenaga solar dan industri lain, dengan perkembangan industri semikonduktor China, permintaan silina domestik semakin meningkat, tetapi kerana teknologi pengeluaran silina domestik berada dalam peringkat awal, bagaimana untuk menganalisis kemurnian silina adalah topik yang perlu dihadapi pelbagai pengeluar.
Seperti yang diketahui, analisis gas yang sangat tulen adalah proses yang rumit dan salah satu daripada kesukaran analisis kromatografi; Oleh kerana sifat-sifat fizikalnya yang istimewa, sukarnya menganalisisnya boleh dikatakan lebih sukar, bukan sahaja memerlukan pengesan sensitif yang tinggi, tetapi juga untuk menyelesaikan masalah pembakaran oksigen silikan.GC-9560-HG Helium Ionized Gas KromatometerMengatasi banyak kesukaran teknikal dalam proses analisis silikan, menggunakan pengesan ionisasi helium sensitiviti tinggi, dilengkapi dengan sistem sampel silikan khusus, dengan baik melengkapkan analisis kekotoran kelas ppb jejak dalam silikan.

Piawaian yang terpakai:

• GB/T 15909-2009 Gas Silikan untuk Industri Elektronik

GC-9560-HG kromatogram gas ionisasi helium analisis silikanGuna untuk pengesanan kekotoran jejak dalam gas yang sangat tulen dan gas industri elektronik, zui kepekatan pengesanan kecil boleh mencapai 5ppb. Instrumen dilengkapi dengan pengesan ionisasi helium sensitif yang tinggi, menggunakan teknologi pemotongan pusat Huawei Inc. *, injap sampel yang dilengkapi dengan injap import dengan saluran udara perlindungan; Seluruh mesin menggunakan reka bentuk kotak pelbagai tiang, tiang kromatologi yang berbeza boleh mengawal suhu secara berasingan, zui mengoptimumkan keadaan pemisahan dan memudahkan tiang kromatologi yang berbeza untuk rawatan penuaan secara berasingan, penyelenggaraan instrumen yang mudah; Instrumen dilengkapi dengan sistem pembetulan automatik tekanan sampel, mengatasi kesilapan analisis yang disebabkan oleh jumlah sampel yang berbeza disebabkan oleh berat molekul yang berbeza.

Satu,GC-9560-HG kromatogram gas ionisasi helium analisis silikanKelebihan prestasi:
Industri gas adalah industri asas ekonomi kebangsaan, adalah "darah" pengeluaran perindustrian, dan dengan perkembangan ekonomi kebangsaan yang pesat, permintaan untuk gas yang sangat tulen dan industri elektronik juga meningkat dengan pesat. Pengesanan kekotoran jejak adalah pautan utama dalam pengeluaran gas yang sangat tulen dan gas industri elektronik, dan analisis kekotoran jejak telah menjadi sukar dalam analisis kromatografi, pengesan kromatografi seperti pemandu haba tradisional tidak dapat memenuhi syarat analisis gas yang sangat tulen.
Pengesan ionisasi helium pelepasan denyutan (PDHID) adalah pengesan generik yang sangat sensitif dengan tindak balas yang tinggi terhadap hampir semua sebatian anorganik dan organik, terutamanya sesuai untuk analisis gas tulen yang tinggi, pengesan yang * mampu mengesan ke tahap ng / g (ppb). Piawaian kebangsaan yang baru dikembangkan menetapkan bahawa penggunaan pengesan ionisasi helium menggantikan pengesan seperti pemandu haba yang asal, kromatografi Huaei yang mengambil tugas utama merancang piawaian kebangsaan "Analisis gas kromatografi gas ionisasi helium" juga sedang dibangunkan, tidak lama lagi akan secara rasmi diumumkan dan dilaksanakan.

Had pengesanan kekotoran gas dalam silikan PDHID (ppb)

Kedua,GC-9560-HGKonfigurasi sistem:

(1) GC-9560-HG Helium Ionization Gas Chromatometer (2) Pengesan Helium Ionization (PDHID)

(3) Sistem pemotongan pusat (4) Sistem sampel gas elektronik

(5) Sistem penyerapan dan pengurangan oksigen (6) Penyucian helium

(7) Injap pengurangan tekanan khusus untuk pembawa gas (8) Injap sampel khusus tanpa jumlah mati
(9)Penapis gas pembawa (10)Penapis sampel

(11) Tiang kromatografi (12) Gas standard
(13) Helium tulen tinggi (kemurnian > 99.999%) (14) GC-9560V4.0 versi anti-kawalan kromatografi kerja

• Teknologi pemotongan pusat untuk mencapai analisis penuh gas:
  GC-9560-HG helium ion gas kromatografi menggunakan pelbagai injap pelbagai tiang pemotongan pusat dan teknologi kutipan balik, sistem ini terdiri daripada beberapa injap sepuluh saluran dan kromatografi pelbagai akar gabungan, mengawal proses pengambilan sampel, bertukar, pemotongan dan kutipan balik secara automatik melalui prosedur masa yang ditetapkan stesen kerja.

• Tipe Injap Sepuluh Jalan
  GC-9560-HGDilengkapi oleh VICI import asal yang dikeluarkan dengan laluan udara yang melindungi jenis injap sepuluh jalan, pesawat injap sentiasa berada dalam suasana pengangkut gas, mengelakkan sampel dan menukar udara menembusi sampel, meningkatkan sensitiviti pengesanan dan ketepatan.
• Teknologi tiang kromatografi yang diproses khas
  (1) paip tiang kromatografi menggunakan bahan keluli tahan karat 316L, dan dinding dalaman paip telah dirawat secara pasif untuk mengelakkan penyerapan dan masalah karbon monoksida
  (2) pembawa tiang kromatografi telah dirawat khas untuk mengelakkan penyerapan oksigen dan masalah lain
  (3) tiang pra-potong menggunakan kromatografi Huaei untuk mendapatkan teknologi tiang pengisian mikro negara, secara menyeluruh meningkatkan pemisahan sampel, menyeimbangkan pemisahan, kestabilan dan cepat

• Sistem pemisahan kotak pelbagai tiang
  Bentuk sampel gas adalah pelbagai, sementara pelbagai jenis kekotoran, memerlukan beberapa tiang kromatografi yang berbeza untuk melengkapkan pemisahan semua kekotoran dalam sampel gas. Oleh kerana suhu kerja optimum untuk tiang kromatografi yang berbeza tidak berbeza, sukar untuk mencari suhu kerja optimum yang sesuai untuk tiang kromatografi yang berbeza dalam kotak tiang yang sama. GC-9560-HG menggunakan reka bentuk kotak pelbagai tiang, dengan berkesan menyelesaikan masalah tiang kromatografi yang berbeza memerlukan suhu kerja yang berbeza.
  Dalam penyelenggaraan harian instrumen, kerana suhu pengaktifan tiang kromatografi pembawa yang berbeza seperti saringan molekul 5A berbeza, jika penuaan dalam kotak tiang yang sama memerlukan tiang kromatografi yang tidak tahan suhu tinggi dikeluarkan dan kemudian diaktifkan secara berasingan. Reka bentuk kotak pelbagai tiang GC-9560-HG dapat dengan berkesan menyelesaikan masalah di atas, tiang kromatografi yang berbeza boleh diaktifkan secara berasingan dalam kotak tiang yang berbeza, mengelakkan masalah yang memerlukan membongkar tiang kromatografi dalam kerja penyelenggaraan instrumen seharian.
• Pembersih helium HP-2:
  GC-9560-HGMenggunakan helium tulen tinggi sebagai gas pembawa, kemurnian helium secara langsung mempengaruhi keseimbangan keseluruhan instrumen untuk pengesanan kekotoran. Ujian membuktikan bahawa kemurnian gas pembawa yang digunakan dalam analisis gas yang sangat tulen sekurang-kurangnya satu gred kuantiti lebih tinggi daripada kemurnian dasar sampel gas.
  Penyucian helium jenis HP-2 adalah pemurni gas khas yang dikeluarkan oleh VICI, substrat pemurniannya adalah aloi penyerapan yang tidak berubah, permukaan zarah penyerapan mempunyai lapisan membran oksida yang perlu diaktifkan melalui pemanasan, proses pengaktifan mesti dilakukan dalam vakum atau persekitaran gas inert, yang membolehkan helium menyebar secara bebas di antara mereka, mencegah pembentukan lapisan pemurnian oksigen dan penyerapan gas kotoran. Bahan penyerap HP mempunyai kestabilan haba yang baik, termasuk dua julat kawalan suhu.
  Gas yang boleh dipurniakan: He, Ar, Ne, Kr, Xe, Rn
  Tekanan operasi tinggi: 1000psi
  Penghapusan gas: H₂、 O₂、 N₂、 CO、CO₂、 CH₄、 H₂O、NO、NH₃、 CF₄Tunggu.
  Kepekatan sisa: ≤10ppb
• Sistem pembetulan tekanan sampel
  Kromatogram tradisional menggunakan kaedah mengawal aliran di pintu keluar injap sampel untuk mengawal jumlah sampel dalam tiub kuantitatif, ujian membuktikan kaedah ini mempunyai kesilapan analisis yang besar.
  Mengambil contoh untuk menganalisis hidrogen yang sangat tulen: gas standard adalah enam kotoran yang dikonfigurasi dalam helium, manakala gas sampel adalah enam kotoran dalam hidrogen; Oleh kerana berat molekul helium dan hidrogen berbeza, yang menyebabkan jumlah sampel dalam aliran yang sama tidak * keadaan
  GC-9560-HGDilengkapi dengan sistem pembetulan tekanan untuk mengatasi masalah jumlah sampel yang tidak * disebabkan oleh perbezaan gas dasar untuk memastikan ketepatan data.
• injap sampel jumlah tidak mati
  GC-9560-HG dilengkapi dengan injap sampel khas tanpa jumlah mati, menggunakan kaedah pengambilan sampel dengan perlindungan mengelup, dengan berkesan mengelakkan masalah sisa udara, mengurangkan kesan proses pengambilan sampel kepada analisis ke tahap zui yang rendah.
• Injap pengurangan tekanan khusus untuk pembawa gas
  Injap pengurangan tekanan biasa disebabkan oleh kewujudan sejumlah besar jumlah mati, secara langsung menjejaskan kemurnian gas pengangkut selepas output injap pengurangan tekanan, menyebabkan kepekatan kotoran dasar dalam gas pengangkut yang tinggi, sehingga menjejaskan had pengesanan keseluruhan sistem.
  GC-9560-HG helium ion gas kromatogram dilengkapi dengan injap pengurangan tekanan keluli tahan karat penuh dengan fungsi kawalan tekanan dua peringkat, sangat meningkatkan kestabilan tekanan, memastikan kestabilan garis asas, dan juga mengurangkan jumlah mati dalam badan injap, meningkatkan lagi kepekaan pengesanan.

GC-9560-HGGrafik kesan analisis: